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  • 2021

    12-7

    由于半導體器件體積小、重量輕、壽命長(cháng)、功率損耗小、機械性能好.因而適用的范閘極廣。然而半導體器件的性能和穩定性在很大程度上受它表面的微觀(guān)狀態(tài)的影響。一般在半導體器件試制和生產(chǎn)過(guò)程巾包括了切割、研磨、拋光以及各種化學(xué)試劑處理等一系列工廳,~正是在這些過(guò)程巾,會(huì )造成表面的結構發(fā)生驚人的變化,所以幾乎每一個(gè)步驟都需要對擴散進(jìn)行檢測.深度進(jìn)行測繭或者直接看到擴散區的實(shí)際分布情況,而生產(chǎn)大型集成電路就更是如此。目前.臺式掃電鏡在半導體中的應用已經(jīng)深入到許多方面。臺式電鏡SEM質(zhì)量監控與...

  • 2021

    12-2

    高溫環(huán)境XRD主要應用于樣品的物相定性或定量分析,晶體結構分析,材料的織構分析,宏觀(guān)應力或微觀(guān)應力的測定,晶粒大小測定,結晶度測定等等,因此,在材料科學(xué)、物理學(xué)、化學(xué)、化工、冶金、礦物、藥物、塑料、建材、陶瓷……以至考古、刑偵、商檢等眾多學(xué)科、相關(guān)的工業(yè)、行業(yè)中都有重要的應用。是理工科院校和涉及材料研究、生產(chǎn)的研究部門(mén)、廠(chǎng)礦的重要的大型分析設備。高溫環(huán)境XRD基本構成包括:高穩定度X射線(xiàn)發(fā)生器,精密測角臺,X射線(xiàn)強度測量系統,安裝有專(zhuān)用軟件的計算機系統等四大部分。按其X射線(xiàn)發(fā)...

  • 2021

    11-22

    鎢燈絲電鏡成像所用的物理信號是電子束轟擊固體樣品而激發(fā)產(chǎn)生的。具有一定能量的電子,當其入射固體樣品時(shí),將與樣品內原子核和核外電子發(fā)生彈性和非單生散射過(guò)程,激發(fā)固體樣品產(chǎn)生多種物理信號,如二次電子、背散射電子、吸收電子、X射線(xiàn)、俄歇電子等。SEM中的三種主要信號:背散射電子:入射電子在樣品中經(jīng)散射后再從上表面射出來(lái)的電子。反映樣品表面不同取向、不同平均原子量的區域差別。二次電子:由樣品中原子外殼層釋放出來(lái),在掃描電子顯微術(shù)中反映樣品上表面的形貌特征。x射線(xiàn):入射電子在樣品原子激...

  • 2021

    11-15

    任何物質(zhì)的光譜產(chǎn)生都有著(zhù)嚴格的物理機制。分子的能量由電子能量、振動(dòng)能量和轉動(dòng)能量組成。根據理論計算,振動(dòng)能級之間的能量差在0.25~1.0eV之間時(shí),光譜產(chǎn)生在近中紅外區。在0.4~1.3um范圍內,主要取決于礦物晶格結構中存在的鐵等過(guò)渡性金屬元素;1.3~2.5um范圍內的光譜特性是由礦物中的碳酸根離子、氫氧根離子和水分子決定的;3~5um光譜范圍的中遠紅外波段光譜由Si-O、Al-O等分子鍵振動(dòng)模式?jīng)Q定。在對巖礦光譜進(jìn)行定量分析時(shí),根據礦物的吸收特征,為每種礦物建立起綜合...

  • 2021

    10-25

    臺式電鏡是一個(gè)復雜的系統,濃縮了電子光學(xué)技術(shù)、真空技術(shù)、精細機械結構以及現代計算機控制等技術(shù)。是在加速高壓作用下將電子槍發(fā)射的電子經(jīng)過(guò)多級電磁透鏡匯集成細?。ㄖ睆揭话銥?~5nm)的電子束(相應束流為10-11~10-12A)。在末級透鏡上方掃描線(xiàn)圈的作用下,使電子束在試樣表面做光柵掃描(行掃+幀掃)。入射電子與試樣相互作用會(huì )產(chǎn)生二次電子、背散射電子、X射線(xiàn)等各種信息。這些信息的二維強度分布隨著(zhù)試樣表面的特征而變化(這些特征有表面形貌、成分、晶體取向、電磁特性等等),將各種探...

  • 2021

    10-20

    鎢燈絲電鏡的低壓性能與與臺式電子顯微鏡不兼容的更多樣品*兼容。其低電壓性能非常有限,并且不能與大多數非導電樣品兼容。蔡司傳統的鎢絲掃描電子顯微鏡的加速電壓為0.2-30kV,電子束電流范圍為0.5pA-5uA。它的低電壓性能遠遠超過(guò)臺式電子顯微鏡,并且具有低真空模式。它與導電樣品,非導電樣品和電子束*兼容。輻射敏感樣品,含水或除氣的樣品等。同時(shí),獲取樣品的表面信息(無(wú)論是表面成像還是能譜),可以為您顯示清晰樣品表面細節。燈絲是臺式掃描電鏡(SEM)重要的模塊之一。它的目的是提...

  • 2021

    9-16

    鎢燈絲電鏡剛到手時(shí)表面可能吸附一定量的空氣、水汽,當它被安裝到電鏡鏡筒里時(shí),會(huì )從燈絲表面緩緩釋放,影響鏡筒的真空度,腐蝕燈絲。因此,新燈絲在更換前要先經(jīng)過(guò)“去潮、去氣”處理,可在45℃電熱箱內放置數小時(shí),然后放入透射電鏡底片抽氣室預抽氣數小時(shí)以除去新燈絲上吸附的殘余空氣和水汽。如何延長(cháng)鎢燈絲電鏡的使用壽命,主要有以下措施:1.準確對中燈絲安裝、更換新燈絲時(shí)仍需檢查燈絲的對中情況,建議將安裝好的燈絲組件放在解剖鏡下再檢查一下,看燈絲是否居中,否則很容易導致燈絲亮度偏暗,而由此操...

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