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使用臺式電鏡SEM的基本步驟

更新時(shí)間:2023-11-03      點(diǎn)擊次數:393
  現代科學(xué)技術(shù)的發(fā)展使得我們對微觀(guān)世界有了更深入的認識。在諸多現代科學(xué)儀器中,臺式電鏡SEM(Scanning Electron Microscope)無(wú)疑是一種非常重要的儀器。它以其出色的分辨率和廣闊的應用領(lǐng)域受到了廣泛的關(guān)注和應用。
 
  電子束的發(fā)射和聚焦:SEM使用熱陰極電子槍產(chǎn)生電子束,并通過(guò)磁場(chǎng)的引導將電子束聚焦到樣品表面。聚焦后的電子束精細、高能量,能夠在樣品表面產(chǎn)生豐富的信號。
 
  信號的收集和檢測:SEM通過(guò)電子和樣品之間的相互作用產(chǎn)生多種信號,主要包括二次電子、反射電子、X射線(xiàn)等。這些信號經(jīng)過(guò)收集和檢測后,通過(guò)電子光學(xué)系統轉化為圖像。
 
  圖像的顯示和分析:SEM的圖像顯示方式有兩種,一種是實(shí)時(shí)觀(guān)察,另一種是圖像捕獲和保存。圖像的分析可以通過(guò)直接觀(guān)察,也可以使用計算機進(jìn)行圖像處理和分析。
 
  使用臺式電鏡SEM的基本步驟如下:
 
  1.準備樣品:選擇需要觀(guān)察的樣品,并將其固定在樣品支架上。樣品應該具有較好的導電性能,在必要時(shí)可以進(jìn)行鍍金等導電處理。
 
  2.真空處理:將樣品支架放入電子槍的樣品艙內,并通過(guò)真空泵將空氣抽出,以確保在觀(guān)察過(guò)程中不會(huì )有氣體干擾。
 
  3.配置參數:根據樣品的特點(diǎn)和觀(guān)察需求,設置合適的加速電壓、放大倍數、工作距離等參數。一般來(lái)說(shuō),加速電壓越高,分辨率越高,但也容易導致樣品受到較強的電子束輻射。
 
  4.對焦:通過(guò)調節物鏡和樣品之間的距離,使得電子束能夠在樣品表面形成清晰的像。
 
  5.觀(guān)察和拍攝:將樣品移動(dòng)到觀(guān)察區域,通過(guò)顯微鏡目鏡觀(guān)察樣品表面的細節,并使用CCD相機等設備拍攝圖像。
 
  6.樣品移動(dòng)和調整:如果需要觀(guān)察樣品的其他區域或者調整焦距等參數,可以通過(guò)微動(dòng)裝置和控制器進(jìn)行樣品移動(dòng)和調整。
 
  7.結束操作:觀(guān)察完成后,關(guān)閉加速電壓,排氣并恢復到大氣壓。注意將樣品取出,并關(guān)閉。
臺式電鏡SEM

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