掃描電子顯微鏡(SEM) 是一種介于透射電子顯微鏡和光學(xué)顯微鏡之間的一種觀(guān)察手段。其利用聚焦的很窄的高能電子束來(lái)掃描樣品, 通過(guò)光束與物質(zhì)間的相互作用, 來(lái)激發(fā)各種物理信息, 對這些信息收集、放大、再成像以達到對物質(zhì)微觀(guān)形貌表征的目的。

 

掃描電鏡具有景深大、分辨率高, 成像直觀(guān)、立體感強、放大倍數范圍寬以及待測樣品可在三維空間內進(jìn)行旋轉和傾斜等特點(diǎn)。另外具有可測樣品種類(lèi)豐富, 幾乎不損傷和污染原始樣品以及可同時(shí)獲得形貌、結構、成分和結晶學(xué)信息等優(yōu)點(diǎn)。

 

掃描電鏡的主要結構：

 

電子光學(xué)系統：產(chǎn)生高能電子束的鏡筒，包括:電子槍、電磁透鏡和掃描線(xiàn)圈;

信號探測處理及成像系統：接收并處理各種電子信號，包括掃描信號發(fā)生器、探測器、掃描放大器、電子信息處理器和監控器;

圖像記錄系統：記錄電子圖像的信息，包括攝像頭、圖像分析器和記錄設備;

真空系統：作為電子束與樣品作用載體，包括樣品室、真空閥門(mén)、機械泵、油擴散泵、離子泵和真空檢測裝置;

電源供給系統：調控掃描電子顯微鏡外部環(huán)境，包括不間斷電源、變壓器、穩壓器、安全控制線(xiàn)路和獨立地線(xiàn)。