鎢燈絲掃描電鏡總發(fā)射電流和束斑都較大，抗干擾能力和穩定性都較好，低真空下可以對不導電樣品無(wú)荷電成像，可用于形貌觀(guān)察、顯微結構分析、斷口形貌分析，在材料、地質(zhì)、礦產(chǎn)、冶金、機械、化學(xué)、化工、物理、電子、生物、醫學(xué)等領(lǐng)域都有廣泛的用途。

 

工作原理：

通過(guò)對電子槍內的鎢燈絲加高電壓，使電子槍處于熱激發(fā)狀態(tài)，在陽(yáng)極作用下，處于熱激發(fā)的電子槍就可以激發(fā)出電子束。經(jīng)過(guò)掃描線(xiàn)圈磁場(chǎng)的控制，電子束在樣品表面逐點(diǎn)掃描，激發(fā)出二次電子、背散射電子等物理信號，經(jīng)探測器收集、放大器放大后，調制得圖像。鎢燈絲掃描電鏡適合大量的常規檢測。

 

JSM-IT500 鎢燈絲掃描電子顯微鏡是JEOL InTouchScope系列推出的新機型。有哪些優(yōu)勢特點(diǎn)呢？

 

一、Zeromag

 

從樣品座圖形和CCD圖像上可以尋找視野和分析位置。尋找視野非常輕松，多視野連續分析的位置也很容易。

光學(xué)CCD圖像和SEM圖像的結合和無(wú)縫操作大大提高工作效率！

利用Zeromag很容易設定大面積的蒙太奇區域，有利于成像和觀(guān)察。蒙太奇功能在斷裂分析和大區域中識別異物等從大面積區域上獲取詳細信息時(shí)非常有效。

 

二、實(shí)時(shí)分析，SEM和EDS一體化集成     

 

在SEM圖像觀(guān)察過(guò)程中，進(jìn)行EDS分析                      

利用Live Analysis功能，可在觀(guān)察窗口中進(jìn)行被觀(guān)察區域的EDS分析?？梢院苋菀椎卣业阶约焊信d趣的元素，還能發(fā)現意料之外的元素。

①顯示存在于測試區域中的主元素。能元素并顯示“Alert”。

②會(huì )顯示分析區域的特征X射線(xiàn)譜圖和自動(dòng)定性分析結果。

③一鍵點(diǎn)擊就可以在電鏡操作界面和詳細分析顯示界面間切換。

 

三、數據集中管理軟件SMILE VIEW™ Lab，無(wú)縫創(chuàng )建報告                  

 

SMILE VIEW™ Lab是能集中管理與樣品臺位置聯(lián)動(dòng)的CCD圖像、SEM圖像、EDS分析結果等數據并快速生成報告的數據管理器。查看以前獲得的數據、重新分析，生成報告等都非常簡(jiǎn)便。

①顯示各個(gè)視野的名稱(chēng)。

②能根據樣品名、創(chuàng )建日期和數據類(lèi)型等搜索數據。

③在樣品座圖形或CCD圖像上顯示各個(gè)視野的位置。

④會(huì )列表顯示被選區域的元素圖、譜圖等的數據和定量分析結果等。