臺式掃描電鏡是在加速高壓作用下將電子槍發(fā)射的電子經(jīng)過(guò)多級電磁透鏡匯集成細小的電子束。在末級透鏡上方掃描線(xiàn)圈的作用下,使電子束在試樣表面做光柵掃描(行掃+幀掃)。入射電子與試樣相互作用會(huì )產(chǎn)生二次電子、背散射電子、X射線(xiàn)等各種信息。這些信息的二維強度分布隨著(zhù)試樣表面的特征而變,將各種探測器收集到的信息按順序、成比率地轉換成視頻信號,再傳送到同步掃描的顯像管并調制其亮度,就可得到一個(gè)反應試樣表面狀況的掃描圖像。如果將探測器接收到的信號進(jìn)行數字化處理即轉變成數字信號,就可以由計算機做進(jìn)一步的處理和存儲。
臺式掃描電鏡的主要應用領(lǐng)域講解:
1.掃描電鏡在材料和冶金行業(yè)中的應用
場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡采用場(chǎng)致發(fā)射電子槍代替普通鎢燈絲電子槍?zhuān)傻玫胶芨叩亩坞娮酉穹直媛?。采用?chǎng)發(fā)射電子槍需要很高的真空度,在高真空度下由于電子束的散射更小,其分辨率進(jìn)一步得到提高。同時(shí),采用磁懸浮技術(shù),噪音振動(dòng)大為降低,燈絲壽命也有增加。場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡的特點(diǎn)是二次電子像分辨率很高,如果采用低加速電壓技術(shù),在TV狀態(tài)下背散射電子(BSE)成像良好,對于未噴涂非導電樣品也可得到高倍像。所以,場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡對半導體器件、精密陶瓷材料、氧化物材料等的發(fā)展起到很大作用。
2.掃描電鏡在新型陶瓷材料顯微分析中的應用
在陶瓷的制備過(guò)程中,原始材料及其制品的顯微形貌、孔隙大小、晶界和團聚程度等將決定其后的性能。掃描電子顯微鏡可以清楚地反映和記錄這些微觀(guān)特征,是觀(guān)察分析樣品微觀(guān)結構方便、易行的有效方法,樣品無(wú)需制備,只需直接放入樣品室內即可放大觀(guān)察;同時(shí)掃描電子顯微鏡可以實(shí)現試樣從低倍到高倍的定位分析,在樣品室中的試樣不僅可以沿三維空間移動(dòng),還能夠根據觀(guān)察需要進(jìn)行空間轉動(dòng),以利于使用者對感興趣的部位進(jìn)行連續、系統的觀(guān)察分析。掃描電鏡拍出的圖像真實(shí)、清晰,并富有立體感,在新型陶瓷材料的三維顯微組織形態(tài)的觀(guān)察研究方面獲得了廣泛地應用。
3.掃描電子顯徽鏡在地質(zhì)工作中的應用
掃描電鏡主要通過(guò)對微體古生物、巖石、礦物的形態(tài)和結構構造特征的研究,巖石、礦物的元素組成、變化規律及其賦存狀態(tài)的研究,解決地質(zhì)科研和生產(chǎn)中的各種問(wèn)題。它直接或間接應用于古生物學(xué)(主要是微體古生物)、礦物學(xué)、巖石學(xué)、隕石學(xué)、礦床學(xué)、構造地質(zhì)學(xué)、礦床綜合評價(jià)和礦產(chǎn)綜合利用等方面的研究。
4.掃描電鏡在醫學(xué)和生物學(xué)中的應用
隨著(zhù)掃描電鏡分辨力溝不斷提高和樣品制備技術(shù)的逐步改善,它在醫學(xué)生物學(xué)的研究中發(fā)揮了巨大乍用,具有重要約實(shí)用價(jià)值。特別是近年來(lái),由于冷凍割斷法、化學(xué)消化法以及樹(shù)脂鑄型法等新技術(shù)的創(chuàng )建,使人們在掃描電鏡下可以直接觀(guān)察組織細胞內部超微結構的立體圖象,能夠顯示器官內微血管和其他管道系統在組織內的三維構筑,為醫學(xué)生物學(xué)亞顯微領(lǐng)域的深入探討,提供了更為良好的條件。